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新恒汇申请一种LDI曝光补偿方法专利,可执行多向曝光位置和光路角度的补偿发布日期:2025-02-02 22:13 点击次数:110
金融界2025年1月28日消息,国家知识产权局信息显示,新恒汇电子股份有限公司申请一项名为“一种LDI曝光补偿方法”的专利,公开号CN 119356043 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种LDI曝光补偿方法,属于激光直接成像技术领域。一种LDI曝光补偿方法,包括以下步骤:采集铜带的横向纹理特征、纵向纹理特征;在铜带表面划定多个校准区域;在铜带表面覆盖干膜,将校准图案曝光在校准区域的干膜上并显影,所述校准图案包括横向线、纵向线与斜向线;根据铜带横向纹理特征对横向误差值进行放大,获取横向矫正值;根据纵向纹理特征对纵向误差值进行放大,获取纵向矫正值;根据横向纹理特征、纵向纹理特征、斜向误差值计算斜向矫正值;根据横向矫正值执行曝光引擎在X向曝光位置的补偿,根据纵向矫正值执行曝光引擎在Y向曝光位置的补偿,根据斜向矫正值执行曝光引擎的光路角度的补偿。
天眼查资料显示,新恒汇电子股份有限公司,成立于2017年,位于淄博市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本17966.66万人民币,实缴资本17966.66万人民币。通过天眼查大数据分析,新恒汇电子股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目39次,知识产权方面有商标信息5条,专利信息99条,此外企业还拥有行政许可106个。
本文源自:金融界
作者:情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端
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